|
| 541 | | О-67 |
Ормонт, Б. Ф.
Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами [Текст] : прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры / Б. Ф. Ормонт, В. И. Смирнов. – М. : Знание, 1977. – 64 с. – (Новое в жизни, науке и технике. Химия ; 4). – 0.11.
|
| |
|
