В12 |
Вавилов, В. С. Дефекты в кремнии и на его поверхности [Текст] / В. С. Вавилов, В. Ф. Киселев, Б. Н. Мукашев. – М. : Наука, 1990. – 216с. – (Физика полупроводников и полупроводн. приборов). – 3,60.
О процессах образования дефектов в кристалическом кремнии, анализ микроструктуры дефектов.
|