| М75 |
Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры [Текст] / под ред. Л. Ченга, К. Плога ; пер. с англ. под ред. Ж. И. Алферова, Ю. В. Шмарцева. – М. : Мир, 1989. – 584 с. – 5,90.
Изложение физических и технологических аспектов проблемы создания полупроводниковых тонкопленочных структур.
|
