| М18 |
Маллер, Р.
Элементы интегральных схем [Текст] / Р. Маллер, Т. Кейминс ; Пер. с англ. – М. : Мир, 1989. – 630с. – 3,20.
В книге изложены основы физики и технологии изготовления элементов кремниевых ИС, принципы их действия, вопросы расчета и конструирования.
|
